본교 전자공학부 대학원 석박사통합과정 박홍휘 학생(지도교수: 박홍식)의 연구성과가 세계적인 학술지 Science의 대표 자매지인 ‘Science Advances(IF = 14.14)’에 최근 게재되었다.

해당 논문은 다양한 전자소자와 광소자 제작에 활용되는 III-V 화합물 반도체 heterostructure 구조의 원하는 에피층 계면을 선택적으로 결정하여 정밀하게 분리하고 이를 다른 기판에 접합할 수 있는 기술을 세계 최초로 시연한 결과이다. 본 연구 결과는 경북대학교를 주관으로 한국전자통신연구원(ETRI), 단국대학교, 미국 퍼듀대학교와의 공동연구를 통해 달성되었다. 

실리콘 반도체 집적회로가 가지는 높은 소자 집적도 및 칩 기능성의 장점과 화합물 반도체가 가지는 광학적, 전기적 특성의 장점을 접목하는 실리콘-화합물반도체 이종집적 기술은 차세대 반도체 산업의 중요한 기술이다. 본 연구를 통해 개발된 화합물 반도체 계면의 선택적 정밀 분리 기술 및 전사 기술은 향후 반도체 이종집적 기술의 구현을 위한 주요한 공정 기술로 활용될 것으로 기대된다. 

해당 논문과 Supplementary Materials 자료는 아래의 링크를 통해 참고할 수 있다.

https://www.science.org/doi/full/10.1126/sciadv.abl6406 

이와 더불어, 위 논문의 1저자인 박홍휘 학생은 최근 차세대 광전자 재료로 각광받고 있는 TiO2의 열-광학계수 특성을 결정하는 결정학적 요소 분석 및 공정기술 연구를 진행하여 열-광학계수 특성을 2배 이상 향상시킬 수 있는 반도체 공정기술을 개발하였다. 이러한 연구결과는 ‘ACS Applied Electronic Materials’ 표지논문(cover art)으로 선정되어 지난 2월호에 게재되었다.