2007. 하계 반도체공정 실습교육
■ 교육개요
- 일 시 : 2007년 8월21일(화)~8월24일(금)/4일(1일/8시간)총32시간
- 장 소 : 반도체융합연구동
- 교육대상 : 반도체 교육을 희망하는 일반 및 학생
- 모집인원 : 20명
- 교 육 비 : 일반/40만원, 학생/20만원
■ 교육 일정/N-MOS 제작
‘07. 8. 21(화)
09:00~17:00 : Mask&Wafer준비/Initial Cleaning/Thermal Oxidation/Diff
Mask(#1)
''07. 8. 22(수)
09:00~17:00 : Diffusion Etch / Diffusion source coating / Pre-depo.
/ PSG etch / Drive-in / Fox remove for Gox(#2)
‘07. 8. 23(목)
09:00~17:00 : Fox etch / Gate oxide growth / Contact open(#3)
/ Contact etch / Al thermal evaporation
‘07. 8. 24(금)
09:00~17:00 : Al elec. formation(#4) / Al etch / Back-side Al
thermal evap. / Annealing / Measurement
■ 교육신청방법
- 홈페이지에 회원가입 후 온라인 서비스 / 교육접수에서 신청
- 교육신청후교육비입금(신한은행 652-01-020260/예금주-경북대 반도체공정)
■ 기타 알림사항
- 교육비에 대한 계산서, 영수증 발급이 가능합니다.(사업자등록증 제출)
- 하루동안 사용할 수 있는 주차권(1,000원)을 구입할 수 있습니다.
- 출석률 80%이상일 경우 수료증이 발급됩니다.
- 교육을 취소하실 경우는 미리 연락을 주시기바랍니다.
- 교육비 환불규정 (환불규정을 유념하셔서 피해가 없으시길 바랍니다.)
<교육시작 3일전 : 100%, 교육시작 1일전 : 50%, 교육당일 이후 : 환불 불가
- 교육비는 교육시작 1주일전까지(8월 17일) 입금이 원칙이며, 입금하지 않은
경우 신청대기자에게 교육의 기회가 넘어갈 수 있습니다.
- 대기자 접수는 necst@ee.knu.ac.kr로 해주십시오.
■ 문의처 : 053-950-7594/950-7591 / WWW.necst.or.kr/necst@ee.knu.ac.kr.
경북대학교 반도체공정교육 및 지원센터
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