| 제 목 | "분광분석(OES)과 주성분 분석(PCA)을 이용한 반도체 식각공정 진단" 세미나 안내 | ||||
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| 작성자 | 최준림 | 작성일 | 2010-04-30 | 조회수 | 1473 |
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| "2010 경북대IDEC 세미나 안내"
1. 제 목 : 분광분석(OES)과 주성분 분석(PCA)을 이용한 반도체 식각공정 진단
2. 교육일시 : 2010년 5월 6일 목요일 13:30 ~ 15:00
3. 교육장소 : 경북대학교 공대11호관 103호(IT대학 3호관 103호)
4. 강 사 : 한승수 교수(명지대)
5. 수강대상 : 대학생, 대학원생, 기업체
6. 강의내용 : Etching Process(RIE)
What is OES?
Eigenvalue, Eigenvector
Principal Component Analysis
Endpoint Detection (RBF Neural Network)
7. 수 강 료 : 무료
8. 신청방법 : 온라인 접수(http://idec.knu.ac.kr, http://www.idec.or.kr)
9. 문 의 : 전화) 950-6857~8, 팩스) 954-6857
E-mail) idec@ee.knu.ac.kr |
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