1. 제 목 : Autonomous Calibration Method of the Reference Flat Surface of an Interferometer without using a Standard Flat Surface

2. 발 표 자 : Dr. Ikumatsu Fujimoto

3. 일 시 : 2012년 2월 14일(화) 13:30 ~ 15:00

4. 장 소 : IT-1호관 318호

5. 초청교수 : 김민영 교수

6. 강사약력 :

(학 력)
          1979 B.S. 와세다대학교 이공학부 수학과
       1982 M.S 동경 공업대학교 이공학연구원 수학전공
       1997 Ph.D. 동경 대학교 공학부 계수공학과 

(경 력)
          Mitutoyo Tukuba 연구소
       선문대 기계공학과 객원교수
       동경대학교 공학부 특임연구원
       현재, Okuwa Technical Research Center 대표

7. 내용요약 :

An autonomous method for calibrating the reference flat surface of an interferometer is proposed with the uncertainty analysis. The method consists of three steps; the first step is multiple rotating shifts of a specimen, the second is a linear shift, and the last is multiple rotating shifts again. The profile of the reference flat surface is basically determined by the linear shift. The linear shift errors occurred during the linear shift are identified by the rotating shifts. The rotating shift errors caused by the rotating shifts can be compensated and the residual uncertainty can be reduced in proportion to the square root of the number of rotating shifts per one revolution. Finally, the uncertainty analysis is carried out in detail.

※ 주최 : BK21 정보기술연구인력양성사업단,전자전기컴퓨터학부

◀ 문의처 : BK21정보기술연구인력양성사업단 ☎ 950-6463 ▶